ULVAC 集团起源于1952年，旨在进口和销售各种类型的真空系统，并与美国NRC设备公司就未来的技术合作签订了总代理协议。
1975年12月成立了ULVAC North America 公司（目前为ULVAC Technologies，Inc.），该公司是北美的子公司，作为向美国出口的基地。ULVAC Technologies总部位于马萨诸塞州的Methuen，向西半球所有国家提供销售和服务。此外，该工厂还配备了一个10级洁净室，用于工艺开发、客户演示和制造无环境溶剂干光阻剥离剂和化合物半导体材料蚀刻系统。其他内部服务包括铸造蚀刻（用于深氧化物和化合物半导体材料）、热处理、材料表征和真空泵/检漏器维修。
ULVAC Technologies，Inc.已采用欧盟RoHS指令，以应对电子设备和其他有害物质报废处置方面日益增加的环境问题。在审查这些指令后，我们确定我们的Enviro系列产品中没有任何元素超出欧盟RoHS指令的允许范围。
虽然大多数ULVAC Technologies产品元素不属于这些指令所涵盖的类别，但ULVAC Technologies和我们的供应商承认并重视欧盟RoHS指令等法规所提供的环境保护。为此，ULVAC Technologies建议以适合最大限度保护环境的方式进行报废处理。
