GF100 & GF101 & GF120 & GF120XSL & GF120XSD & GF121 流量控制器 Brooks Instrument 布鲁克斯
- 产品品牌：Brooks Instrument 布鲁克斯
- 产品类别：流量控制器
- 产品型号：GF100 & GF101 & GF120 & GF120XSL & GF120XSD & GF121
详细信息
GF100,GF101,GF120,GF120XSL,GF120XSD,GF121流量控制器描述
- 快速响应，可重复交付高纯度和超高纯度的工艺气体-这是GF100系列金属密封质量流量控制器和仪表提供的性能。为半导体、MOCVD和其他气体流量控制应用而设计的GF100系列在可靠性方面超过了半导体行业标准，确保了可重复的、高度稳定的性能。标准的MultiFloTM技术使一个MFC能够支持数千种气体类型和范围组合，而不需要将其从天然气管道中移除，也不会影响精度。提高的工艺灵活性和效率，结合行业最高水平的工艺气体纯度，帮助最大化产量和生产率。
GF100,GF101,GF120,GF120XSL,GF120XSD,GF121流量控制器特性
- 长期零稳定性<每年±0.5%满量程
- 稳定时间:700毫秒< 1秒
- 满标度流速高slpm达300人
- 全金属密封流道:可选4µ英寸或10µ英寸Ra表面光洁度
- 耐腐蚀哈氏合金T-Rise传感器提高了在高温下的测量再现性
- MultiFloTM气体和量程的可编程性——一个设备，数千种气体类型和量程组合，无需从气体管道中移除MFC，也不会影响精度
- 本地显示器
- 可选sds气体输送
- devicenettm, rs - 485 l协议和模拟接口
- 高性能元件的可靠性测试达到了半导体行业标准的七倍
- 全金属耐腐蚀流道，表面积减小，体积不受冲刷，确保在清洗步骤中更快干燥
- 使用MultiFloTM，新的工艺气体和/或范围可以在60秒内设置-不再去除和校准mfc
- 高度可配置的平台,使大多数品牌的金属密封mfc电池,包括前敏捷,mykrolis, tylan和单位品牌的磁带杂音信息更换和升级
- GF120安全输送系统(SDS )是布鲁克斯最先进的低压降质量流量控制器，用于输送植入和蚀刻工艺中使用的亚大气安全输送系统(SDS)气体
- 方便的用户显示和独立的诊断/维修端口有助于设备的安装、监控和故障排除
- 半导体蚀刻工具
- 薄膜化学气相沉积系统(CVD、金属、PECVD, " ALD)
- 物理气相沉积(pvd)系统
- 外延工艺系统
- 建立时间:700 ms - < 1秒
- DeviceNetTM, rs - 485 L协议和模拟接口
- 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口辅助设备的安装、监控和故障排除
- 物理气相沉积(pvd)系统
- 外延过程系统
GF100,GF101,GF120,GF120XSL,GF120XSD,GF121流量控制器技术参数
| 规格项 | 参数值 |
| 性 能 | |
| 精度 | 0.3±% FS |
| 特 性 | |
| 测量介质 | 气体 |
| 控制信号输出 | 模拟电压;串行/数字;网络/现场总线输出;RS485,设备网 |
| 控制输出数量 | 1输出 |
| 输入数量 | 1输入 |
| 连接,显 示 | |
| 用户接口 | 计算机可编程 |
| 更多规格 | |
| 产品类别 | 流控制器 |
| 通信接口 | RS485,设备网 |
| 标准和合规性 | RoHS;其他;EC指令2004/108/EC, CE: EN61326-1: 2006, REACH指令EC 1907/2006 |
