太克(Tektronix)近期宣布推出Keithley S540功率半导体测试系统，这是为高达3kV的功率半导体装置和结构，提供的全自动48针脚参数测试系统。完全整合的S540是专为与最新复合功率半导体材料，包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)，搭配使用而进行最佳化处理，可在一次探头接入中执行所有高压、低压和电容等测试。

  随着对功率半导体装置的需求不断提高，同时，SiC和GaN也日益商业化，製造商正在生产製程中採用晶圆级测试，以有效提升良率并改善盈利能力。针对这些应用，S540显着地缩短了测试时间和测试设定时间，并减少了占用空间，同时实现了实验室级高电压量测效能，进而降低了拥有成本。

  Tektronix Keithley产品系列总经理Mike Flaherty表示，许多晶圆厂正使用自订的混合测试系统来执行功率半导体测试，在从低电压测试转向高电压测试时，需手动变更测试设定，这却会增加製程步骤并拖慢生产速度。相较之下，S540是一款完全整合的解决方案，特别适合必须迅速测试各种装置的生产环境。

  为提供生产级效能，S540可在高达48针脚上执行参数量测，而不须更换电缆或探棒卡设施，还可执行高达3kV的电晶体电容量测，如Ciss、Coss和Crss，而无须手动重新配置测试针脚。