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富士通开发出了采用石墨烯的半导体气体传感器。将在半导体元件及工艺技术相关国际会议“IEDM 2016”(12月3?7日、旧金山)上就其详细情况发表演讲。该传感器的特点是灵敏度较高,选择性较大。试制的气体传感器将普通的MOSFET栅极电极换了成了石墨烯。这样一来,NH3和NO2吸附到石墨烯上时,MO...
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